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1、電機失控(轉速忽快忽慢)或不轉

流量傳感器到主板的信號線短路或插座接觸不良:用萬用表測量連接主板的信號線的通斷情況，如短路應重新焊接、用黏膠加固，或更換引線、插座。流量傳感器損壞的判斷方法是：在儀器開機的情況下(使泵不轉)，將傳感器信號與主板斷開，并測量其信號，給傳感器正端加壓時輸出信號上升，給傳感器負端加壓時輸出信號下降，可判斷出傳感器的好壞。如果采樣泵配用有碳刷電機，常見故障是碳刷磨損或引線接觸不良。發現碳刷磨損，更換新的碳刷。若發現焊點虛焊則重新焊接。采樣泵配用無刷的電機，常見故障是引線接觸不好。重新焊接或更換引線。泵配用了無刷電機，能從源頭上解決了電機對控制電路的雜波干擾問題。

2、流量偏低(噪聲大)

儀器的實際流量偏低(與設定流量不符)，且調節面板“流量校正”不起作用。儀器的泵的工作聲音不平和、尖銳刺耳，查看真空泵累計工作時間，如果達到或超過600h， 配用有刷電機的泵可能是碳刷磨損嚴重，排除方法是更換碳刷。更換碳刷時可將儀器外殼打開，旋下電機筒上的緊固螺絲，將電機提出電機筒，熔斷電機上舊碳刷的接點，將新碳刷小心塞入舊碳刷的位置，并焊接好接點，原樣裝好電機，不帶濾膜空轉6h，以磨合碳刷。